产品特点：
1. 垂直反应器的设计可使等离子密度高；对称的微波发生装置，使产生的等离子环境更均匀。
2. 微波等离子体气相沉积炉的谐振腔内没有内部电极,可以避免电极放电所产生的污染,而且,它的运行气压范围比较宽,所产生等离子体密度高、区域大,稳定度高,且不与真空器壁接触,从而避免了器壁对薄膜的污染。
技术参数：
|
型号/model |
WBMW-DLZ3 |
|
可加热材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
|
微波频率 |
2.45GHZ±50MHz |
|
加热方式 |
纯微波加热 |
|
大功率/KW |
3 (功率可调) |
|
高工作温度/℃ |
1200 |
|
长期工作温度/℃ |
≤1100 |
|
温度测试元件 |
微波场传感器 |
|
控温精度/℃ |
±2 |
|
石英管尺寸(外径/内经X长度)/mm |
φ102/φ92x1000 |
|
真空系统配置（可选） |
简单机械泵抽真空和不锈钢法兰； |
|
升温速率(标配) |
50℃/min 可分 段加热 300℃/min |
|
外型尺寸(长x宽x高)/mm |
1000´750´1830 |
|
微波泄漏量/ mW/㎝ |
≤0.4 |
|
提供相关配件 |
高温手套×1、中文说明书×1 |
|
保质期 |
整机保修1年 |
微信公众号
京东旗舰店
天猫店铺
郑州地址一：郑州市、金水区、北环路73号、瀚海北金A座14层
郑州地址二：郑州市、金水区、北环路72号
北京地址：北京市丰台区贾家花园15号院7号院一层西侧
海外进出口贸易（离岸中心）：ROOM 803, CHEVALIER HOUSE, 45-51 CHATHAM ROAD SOUTH, TSIM SHA TSUI, KOWLOON, H K NANBEI INTERNATIONAL GROUP LIMITED
上海地址：上海市、普陀区、长寿路76号
工厂地址：沁阳市未来路、省科学院沁阳科创园区
版权 ©南北仪器有限公司 备案号:豫ICP备08101370号-8 站点地图 营业执照 友情链接：南北科仪
