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微波化学气相沉积炉

产品型号:WBMW-QXCJ4

负责人:赵德厂

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产品详情

产品特点：

1. 才用纯微波加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的任何材料，
2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温精度高，热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区，且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩撒泵和分子泵，可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
5、保护管采用耐高温合金管，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；
8、真空系统：机械泵扩散泵和分子泵，真空密度计
9、可通过电脑全程监控和调试；
产品参数：

型号/model	WBMW-QXCJ4
可加热材料	非易燃易爆的任何材料
微波频率	2.45GHZ±50MHz
加热方式	纯微波加热、传统电加热、混合加热
大功率/KW	4 (功率可调)
温度测试元件	微波场传感器
控温精度/℃	±2
加热管材质	石英管	高温合金管	刚玉管
加热温度/℃	1200℃	1200℃	1600℃
管径(外径/内经X长度)/mm	∅45/∅35×1200，可选配，大外径∅60mm
加热速度（高）	≦200	升温速率不限	≦50
恒温区长度	标配恒温区长度10mm，恒温去长度10mm～1000mm以上可选
温区	可多温区同时加热
气路法兰	不锈钢法兰
质量流量控制	美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件
气路数量	2路或3路
流量范围	0-1SLM(标准升/分，可选配）氮气标定
精度	±0.2%F.S
响应时间	≤1sec
工作压力	进气压力0.05-0.35Mpa(表压力），流量规格≤10SLM
系统连接方式	采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪
规格	高真空
系统真空范围	标准大气压～10-3Pa
真空泵	简单机械泵抽真空和不锈钢法兰 10-1Pa真空用高品质机械泵及真空计 10-2Pa真空用高品质机械泵、扩散泵及真空计 10-3Pa真空用高品质机械泵、分子泵及真空计
炉腔尺寸/mm	700X350X530
加热腔(标配)	0.5-3L 2个
加热腔大小	0.94L，2.12L，3.8L
升温速率(标配)	0～1000℃/min可根据实际任意设定，可编程、分段加热
外型尺寸/mm	1500´750´1560
微波泄漏/ mW/㎝	≤0.4
提供相关配件	高温手套×1、中文说明书×1
保质期	整机保修1年

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