场发射扫描电镜 ΣIGMA
ΣIGMA是一台具有GEMINI镜筒特性，设计用于分析应用的高性能扫描电子显微镜。GEMINI镜筒的特点是高亮度肖特基场发射源、电子束加速器和In-lens二次电子探测器以保证成像性能，同时保持了良好的易用性。
高稳定的探针电流可得到高性能的X射线能谱仪（EDS）、波谱仪（WDS）和电子背散射衍射（EBSD）分析，EDS和EBSD是共面设计，以进行优异的同时工作，以及通用的与当前可用的WDS仪器相兼容的WDS接口。
马达驱动的5轴样品台提供了较大的行程，还具有的重复性。可以使用各种样品座，以优化显微镜的应用。具有安装第三方专业设备的能力，例如拉伸台、制冷台和对比台，使显微镜适应各种应用。
SmartSEM® GUI（图形用户界面）提供能够适合个别用户和他们应用的用户界面。样品台控制图形用户界面（GUI）的提供引导样品的快方法。
可选的SmartPI软件是SEM与集成的EDS控制相结合的具有自动颗粒搜索、鉴别和分类的颗粒分析解决方案。它对于在硬盘驱动器制造和钢铁夹杂物分析中的颗粒鉴别是很理想的。
技术参数：
分辨率： 1.5nm@20KV 1.7nm@15KV 3.0nM@1KV
放大倍数：12 - 500,000x
加速电压：100V-30KV
探针电流：4 pA - 40 nA
样品室： 330 mm (Ø) x 270 mm (h)
样品台： 5轴驱动
X = 125 mm
Y = 125 mm
Z = 50mm
倾斜角T = 0 - 90°
R = 360°连续旋转
系统控制：基于Windows XP 的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
