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NBD-T1500-200T66D6Z生产型一维材料制备CVD系统

产品型号:NBD-T1500-200T66D6Z

负责人:周贝贝

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配置详情:

设备特点	1、六温三控加热系统，温场分布更均匀； 2、高纯硅碳棒加热，Z高工作温度1380℃，可满足更多CVD领域需求； 3、六路质量流量计(MFC)气体控制，同时设置有真空系统配合进出气系统使用，可以实现自动抽真空-补气循环流程，以Z快的速度排空腔体内部的氧气； 4、电动开盖系统，方便炉管的维护及更换； 5、4.3英寸彩色触摸液晶屏，并支持多种工作模式的高精密注射泵，可以根据客户需要选择不同容积的针管进行试样的注射；同时可以跟随工艺曲线设置注射泵的开关，无需后期的人为操作，操作方便性提升； 6、PLC自动化控制系统集成了设备上的控制，包含加热和各种动作都能够在屏幕上进行操作，并且能够跟随工艺曲线设置不同的进气和流量的设置，可以实现不同工艺下的快速组合，并且支持数据导出及预存和调用配方功能。
产品型号	NBD-T1500-200T66D6Z
供电电源	三相380V 50HZ
控温精度	±1℃
额定功率	36KW
传感器类型	S型热电偶
温度	1500℃
长期工作Z高温度	1380℃
加热元件	高纯硅碳棒
温区尺寸	2602401430mm
炉管材质	反应烧结碳化硅
注射泵供给速度	5-10ml/小时
推荐升温速率	≤3℃/min（注意：超过Z大升温速率可能会导致炉管断裂）
炉管尺寸	内径φ180mm，壁厚10mm，长2150mm
炉体外形尺寸	长3700×深1000×高1420mm
上盖打开方式	电动开合 Z大角度45度
基于PLC控制单元的全触屏智能人机交互系统	1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。
物料收集系统： 1、通过不锈钢波纹管与碳化硅炉管相连，有效保护高温工作中的碳化硅炉管； 2、高纯石英观察窗，可随时观察物料收集状态； 3、手动阀和电磁阀双重保障，确保出气控制稳定运行； 4、收集腔室内部配置多孔收集板，可提高物料收集效率； 5、收集系统通过手轮调节与炉管的距离，并可通过旋转与炉体保持一定角度，方便物料的取出。
高精密注射泵：采用4.3英寸彩色触摸液晶屏，方便快速设置参数，多个指示灯清晰确认其工作状态，支持多种注射器型号选择，可适应不同实验流量需求，高精度控制，并设有软硬保护机制，支持注射、抽取等四种工作模式。内置RS485通讯，支持Modbus协议，宽范围电源输入，适应各种场合。单通道、双通道、多通道可供选择。
六路质量流量控制器（6MFC）混气系统
重量	约660KG

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