配置详情：
| 1.炉体与控制系统集成一体化，使试验方便快捷直观。 2.配置浮子流量计或质量流量计混气气路，可以单设置气体流量。 3.PID程序多段控制，实现不同工艺多段温度时间监控。 4.炉衬采用高纯氧化铝轻质纤维材料，保温效果好。 5.配备机械泵或分子真空泵，可以实现不同的真空条件。 | |||
产品型号 | NBD-CVDO1200 | |||
炉管直径 | Φ50、φ60、φ80、φ100 (可自选) | |||
工作温度 | ≤1100℃ | |||
温区选择 | 单温区 | |||
加热区尺寸 | 440mm | |||
电器规格 | AC220V 4KW | |||
升温速率 | 建议 10℃/min | |||
控制系统 |
1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； | |||
气体系统（可选购） | 流量计类型 | 浮子流量计 | 质量流量计 | |
管道示意图 |
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进气接口数量 | 2、3、4（多路可选） | |||
流量范围 | 20-250/20-800ml/min(多量程可选) | 50/100/200sccm(多量程可选) | ||
工作压差范围 | 0-0.15MPa | |||
低真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-1.5C | NBD-3C | NBD-4C |
抽气速率 | 1L/s | 3L/s | 4L/s | |
进排气口尺寸 | Φ8mm宝塔接头 | Φ8mm宝塔接头 | KF16/25 | |
压力 | 1000Pa | 100Pa | 10Pa | |
工作温度 | 5-40℃ | |||
电气规格 | AC220V | |||
高真空系统（可选购） | 真空泵型号 | NBD-103(A) | NBD-103(B) | NBD-103(C) |
抽气速率 | 110L/s | 600L/s | 700L/s | |
真空测量计 | 复合真空计 | |||
压力 | 10^-3Pa | 10^-4Pa | 10^-5Pa | |
工作温度 | 5-40℃ | |||
电气规格 | AC 220V | AC 220V | AC 380V | |
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