CS200-D​质量流量控制器&流量计

CS200-A

CS200-C

CS200-D

阀类型

常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

或常闭

无

常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

或常闭

无

常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM)

或常闭

无

流量规格(N2)

(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30,50) SLM

(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0～1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

±1.0% S.P. (≥35% F.S.)
±0.35% F.S.(＜35% F.S.)

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 1sec

≤ 0.8sec

工作压差范围

0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.1～0.35MPa 10＜流量规格≤30SLM
0.2～0.45MPa 30＜流量规格≤50SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa
流量规格≤10SLM
0.1～0.35MPa
流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

0.05～0.35MPa
流量规格≤10SLM
0.1～0.35MPa
流量规格＞10SLM

＜0.02 MPa

z大工作压力

0.45MPa

温度系数

零点： ≤±0.05% F.S./℃；
调节时： ≤±0.1% F.S./℃ 流量规格≤30SLM
调节时： ≤±0.2% F.S./℃ 流量规格＞30SLM

零点： ≤±0.02% F.S./℃；
调节时： ≤±0.05% F.S./℃

耐压强度

3MPa

漏率

1×10-10 Pa·m3 / sec He

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

氟橡胶

金属密封

工作环境温度

（5～45）℃

（0～50）℃

输入信号

数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT
模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

无

数字： RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus或 EtherCAT
模拟：(0～5)VDC
或(4～20)mA
或(0～20)mA

无

数字： RS485
或DeviceNet
或 ProfiBus或 EtherCAT
模拟：(0～5)VDC
或(4～20)mA
或(0～20)mA

无

输出信号

数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT
模拟：(0～5)VDC 或(4～20)mA 或(0～20)mA

零漂

在没有零点校正时＜0.6%F.S./年

电源

±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极)

表面化学成分

常态

Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃）

常态

表面粗糙度

25 Ra

10 Ra

25 Ra

标准接头形式

双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3；
双卡套 1/8´´；VCO 1/4";φ6(内)x1 软管接头; φ5(内)x1.5 软管接头；
φ4(内)x1 软管接头;双卡套φ10mm；A 型密封接头;

双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套 1/4；VCR1/4 阳接头；
1.5´´C 型密封接头;1.5´´ W型密封接头

电源接头形式

D 型 9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1.2Kg

1Kg