D07-7C​质量流量控制器&流量计

1

流量规格

(20,30,50,100,200,300,500)  SCCM      

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)  

SCCM  

( 0~1,2,3,5,10)  SLM

2

准确度

±1 % F.S

±1.5  % F.S

±1.5  % F.S

±1.5  % F.S

3

线性

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

±1 % F.S

4

重复精度

 ±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

±0.2  %F.S

±0.2 %F.S

5

响应时间

电特性: 10 sec;              

气特性:  ≤ 4  sec

电特性: 10 sec;              

气特性:  ≤ 4  sec

电特性: 10 sec;              

气特性:  ≤ 4  sec

 10  sec

6

气压降

ˉ

ˉ

ˉ

<0.01 MPa

7

工作压差范围

(0.1 ~ 0.5)  MPa

(0.1 ~ 0.5)  MPa

(0.1 ~ 0.5)  MPa

<0.01 MPa

8

温度系数

Zero:≤±0.1% F.S./℃; 

Span: ≤±0.2% F.S./℃;

ˉ

ˉ

ˉ

9

Z大工作压力

1  MPa

1  MPa

1  MPa

1  MPa

10

耐压

3  MPa

3  MPa

3  MPa

3  MPa

11

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

5 ℃ ~ 45 ℃

12

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

0 V ~ +5.00 V
(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

13

电源

  +15 V   50 mA;

  -15V  200 mA

    +15 V   50 mA; 

 -15V  200 mA

      +15 V   50 mA; 

   -15V  200 mA

+15 V   50 mA

-15 V   50 mA

14

1.1  kg

1.1  kg

1.1  kg

0.92  kg