SZT-K1型两探针电阻率测试台
产品详细
操作使用说明书
一 、功能与结构特征概述
基本功能：SZT-K1型两探针电阻率测试台，是用来装夹棒类样品（圆或方截面），连接四探针测试仪器，进行两探针法电阻率测试的机具。是两探针法测试电阻率仪器的配套测量装置（以下简称测试台）。设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》，GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》，GBT 24525-2009 《炭素材料电阻率测定方法》。
基本组成：测试台主要有底板、双轨水平导向单元、探头水平移动及测试压力调节单元、左右样品装夹单元等。
配套与兼容：本测试台自带两探针测试探头，兼容本公司大部分四探针测试仪器。
二、基本参数和可测半导体材料尺寸
两探针针距：10mm,15mm,20mm可调
可测样品：直径或边长: 圆截面≤ Φ50mm，或≤ 50mm×50mm方截面。
长(或高)度： 两端面顶持方式L≤420mm, 侧面夹持方式不限。
测量方位： 轴向（长度方向）。
三 、使用方法
3.1 放置样品：
根据样品长短和需要选择样品装夹方式，对于较粗短的适合用两端面对顶夹持方式，如图3.1A。对于较细长的样品适合用两端侧面夹持的方式，如图3.1B。
两端面夹持的方式样品放置操作步骤如下：
首先，把红色扳手向上向后板起，把两探针测试探头向上抬起，便于样品装夹，图3.2A,转动测试台底板右侧手轮，使得右装夹电极单元移动到左右电极距离稍大于样品长度，如图3.2A，左手托起样品，水平置于两电极之间，参照左右电极的“V”型槽和测试探头探针位置，将样品水平置于探头探针正下方，合适的垂直高度，右手转动手轮，向左移动右电极将样品从两端面夹紧。如图3.2B。为了样品和电极接触良好，z好在接触面垫上炭纸，下同。
两端侧面夹持的方式样品放置操作步骤如下：
参照图3.1B,参照端面夹持的方式，不同的是，先调节左右电极上的夹紧螺母，使得左右两个活动上电极先向上，使得上下电极反“V”型槽之间有足够空间穿放样品。样品放好，调节垂直锁紧螺母，夹紧样品。如图3.2C。
3.2探头探针压力调整：
将测试台上部操作扳手向前向下，压下探头。如图3.3A,在探头压下的状态下，可根据样品上侧面和探头探针尖的距离，如图3.3B,调节测试台垂直导轨支架中部螺杆上的螺母（先松开锁紧螺帽），如图3.3C,观察探头探针压下程度，调节测试压力！一般以探针被压缩2mm行程为宜。调好后锁紧锁紧螺帽。
3.3 调节修正系数，读取电阻率值：
根据样品截面S和两探针针距L,查说明书附表，得修正系数K,输入到仪器中，直接读取电阻率值，仪器操作参考所配仪器说明书。
3.4 测试样品不同段点的电阻率值：
一个段点测试完毕，抬起探头，水平移动探头单元，在选择的另一段点压下探头即可，直接读取电阻率值。
3.4 付卸样品：
先抬起探头，对于端面夹持的样品，要在手托好样品后，转动手轮松开样品，再移去样品。对于穿芯式侧面夹持的样品，松开两电极上方的锁紧螺母后，从两端抽取出样品。
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