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项目
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技术指标
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仪器型号
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EMPro-PV
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版本号
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31
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激光波长
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632.8nm (He-Ne Laser)
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膜厚测量重复性（1）
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0.01nm (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
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0.03nm (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
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折射率精度（1）
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1x10-4 (对于平面Si基底上100nm的SiO2膜层)
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3x10-4 (对于绒面Si基底上80nm的Si3N4膜层)
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单次测量时间
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与测量设置相关，典型0.6s
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结构
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PSCA（Δ在0°或180°附近时也具有的准确度）
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激光光束直径
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1mm
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入射角度
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40°-90°可手动调节，步进5°
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样品方位调整
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一体化样品台轻松变换可测量单晶或多晶样品；
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可测量156*156mm电池样品上每个点
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Z轴高度调节：±6.5mm
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二维俯仰调节：±4°
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样品对准：光学自准直显微和望远对准系统
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样品台尺寸
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平面样品直径可达Φ170mm
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兼容125*125mm和156*156mm的太阳能电池样品
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大的膜层测量范围
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粗糙表面样品：与绒面物理结构及材料性质相关
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光滑平面样品：透明薄膜可达4000nm，吸收薄膜与材料性质相关
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大外形尺寸(长x宽x高)
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887 x 332 x 552mm (入射角为90º时)
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仪器重量（净重）
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25Kg
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选配件
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水平XY轴调节平移台
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真空吸附泵
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软件
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ETEM软件：
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l 中英文界面可选
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l 太阳能电池样品预设项目供快捷操作使用
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l 单角度测量/多角度测量操作和数据拟合
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l 方便的数据显示、编辑和输出
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l 丰富的模型和材料数据库支持
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