一． 主要功能特点
硬件系统
1、主机与控制箱分开，外形结构简单；
2、扫描探头和样品台集成一体，抗干扰能力强；
3、精密激光定位装置，使用时无需调节光斑位置；
4、采用精密探针定位模块，更换探针简单方便；
5、采用样品趋近探针方式，使针尖垂直于样品扫描；
6、伺服马达手动或自动脉冲控制，驱动样品垂直接近探针，实现扫描区域定位；
7、高精度大范围的样品移动装置，可自由移动感兴趣的样品扫描区域；
8、高精度大范围的压电陶瓷扫描器，根据不同精度和扫描范围要求选择；
9、带光学定位的CCD观测系统，实时观测与定位探针扫描样品区域；
10、模块化的电子控制系统设计，便于电路的持续改进与维护；
11、集成多种扫描工作模式控制电路，配合软件系统使用；
12、弹簧悬挂式防震方式，简单实用，抗干扰能力强。
13、带温控、湿控功能
软件系统
13、可自由选择图像采样点为256×256或512×512；
14、多通道图像同步采集显示，实时查看剖面图；
15、可进行扫描区域偏移、剪切功能，任意选择感兴趣的样品区域；
16、可任意选择样品起始扫描角度；
17、激光光斑检测系统的实时调整功能；
18、可任意定义扫描图像的色板功能；
19、支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能；
20、支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正；
21、支持样品图片离线分析与处理功能。
二． 主要技术指标
22、工作模式：接触、轻敲，可扩展相位、摩擦力、磁力或静电力
23、样品尺寸：Φ≤90mm，H≤20mm
24、大扫描范围：横向20um，纵向2um
25、扫描分辨率：横向0.2nm，纵向0.05nm
26、扫描速率：0.6Hz~4.34Hz
27、扫描角度：任意
28、样品移动范围：0～20mm
29、马达趋近脉冲宽度：10±2ms
30、光学放大倍数： 4X
31、光学分辨率：2.5um
32、图像采样点：256×256，512×512
33、扫描控制：XY采用18-bit D/A，Z采用16-bit D/A
34、数据采样：14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
35、反馈方式：DSP数字反馈
36、反馈采样速率：64.0KHz
37、计算机接口：USB2.0
38、运行环境：运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统
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