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M-3手持式四探针测试仪

产品型号:M-3

负责人:张雅丽

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产品详情

M-3手持式四探针测试仪

一、概述

M-3型手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合单晶硅物理测试方法国标并参考美国 A.S.T.M 标准。

成套组成：由M-3主机、选配的四探针探头等二部分组成，也可加配测试台。

仪器suo有参数设定、功能转换全部采用轻触按键输入；具有零位、满度自校功能；手动/自动转换量程可选；测试结果由数字表头直接显示。本测试仪采用可充电电池供电，适合手持式变动场合操作使用！

探头选配：根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配zhuan用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、结构紧凑、使用简便等特点。

仪器适用于半导体材料厂、器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的手持式导电性能的测试。

二、基本技术参数

1. 测量范围、分辨率

电阻: 0.010Ω ～ 50.00kΩ, 分辨率0.001 ～ 10 Ω

电阻率: 0.010Ω～ 20.00kΩ-cm，分辨率0.001 ～ 10 Ω-cm

方块电阻: 0.050Ω～ 100.0kΩ/□ 分辨率0.001 ～ 10 Ω/□

2. 可测材料尺寸

手持方式不限材料尺寸，但加配测试台则由选配测试台决定如下：

直径：SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm。

SZT-C方测试台直接测试方式180mm×180mm。

长(高)度：测试台直接测试方式 H≤100mm。.

测量方位: 轴向、径向均可.

3. 量程划分及误差等级

量程（Ω-cm/□）	2.000	20.00	200.0	2.000k	20.00k
电阻测试范围	0.010～2.200	2.000～22.00	20.00～220.0	0.200～2.200k	2.000～50.00k
电阻率/方阻	0.010/0.050～2.200	2.000～22.00	20.00～220.0	0.200～2.200k	2.000～20.00k
基本误差	±1%FSB±2LSB			±2%FSB±2LSB